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  滲透的生產(chǎn)過(guò)程中,，水中的陰、陽(yáng)離子可用電滲析法,、反滲透法及離子交換樹(shù)脂技術(shù)等去除;水中的顆粒一般可用超過(guò)濾,、膜過(guò)濾等技術(shù)去除;水中的有害物質(zhì)，目前國(guó)內(nèi)多采用加藥或紫外燈照射或臭氧殺滅有害物質(zhì)的方法去除,。

   水中的TOC則一般用活性炭,、反滲透處理。在高純水應(yīng)用的領(lǐng)域中,，水的純度直接關(guān)系到器件的性能,、可靠性、閾值電壓,，導(dǎo)致低擊穿,，產(chǎn)生缺陷，還影響材料的少子壽命,，因此凈道開(kāi)水器的高純水要求具有相當(dāng)高的純度和精度,。天然水中溶解的氣體主要有O2,、CO2、SO2和少量的CH4,、氡氣,、氯氣等，在高純水的生產(chǎn)過(guò)程中,，還必需去除這類(lèi)的氣體,。為了有效的去除雜質(zhì)，在生產(chǎn)高純水的過(guò)程中,，加入了一些化學(xué)殺滅有害物質(zhì)劑,，如甲醛、雙氧水,、次氯酸鈉等。這些都是為什么高純水不能作為飲用水的原因之一,。

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