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隨著科技發(fā)展,，半導(dǎo)體在國(guó)內(nèi)的發(fā)展日漸明顯，半導(dǎo)體材料廣泛應(yīng)用于制造電子,，電器,。也可以用來(lái)制作半導(dǎo)體器件和集成電路的電子材料。就像液晶電視制作,，手機(jī)行業(yè)都屬于半導(dǎo)體行業(yè),。那么在生產(chǎn)制作這些半導(dǎo)體材料時(shí)會(huì)產(chǎn)生一些有害氣體，這些氣體屬于二次污染氣體,，會(huì)對(duì)大氣污染造成一定的危害,。
 
     由于半導(dǎo)體工藝對(duì)操作室清潔度要求極高,，通常使用風(fēng)機(jī)抽取工藝過(guò)程中揮發(fā)的各類廢氣，因此半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大,、排放濃度小的特點(diǎn),。廢氣排放也以揮發(fā)為主。半導(dǎo)體制造工藝中產(chǎn)生的廢氣如果沒(méi)有經(jīng)過(guò)很好的處理進(jìn)行排放,，將造成嚴(yán)重的問(wèn)題,，不僅影響人們的身體健康，惡化大氣環(huán)境,，造成環(huán)境污染的公害事件等,，也會(huì)成為半導(dǎo)體制造中AMC污染的重要來(lái)源。
 
     在處理上采用水洗,、氧化/燃燒,、吸附、解離,、冷凝等方法,，通過(guò)研究，活性炭對(duì)這些有毒氣體的清除十分有效,。半導(dǎo)體行業(yè)再生產(chǎn)材料過(guò)程中,，車間會(huì)存留一定的有機(jī)氣體。這些氣體通過(guò)安裝廢氣處理設(shè)備,，廢氣處理設(shè)備內(nèi)裝有活性炭,，就可以達(dá)到凈化排放標(biāo)準(zhǔn)?；钚蕴课椒ㄍ顿Y小,、工藝簡(jiǎn)單，易飽和,，但是必須與脫附,、冷凝、焚燒等方法聯(lián)用才能滿足排放要求,。
 
     活性炭主要時(shí)通過(guò)氣相吸附凈化其中的有機(jī)廢氣,，包括廢氣中所含有苯，甲苯,，二氧化碳等有毒物質(zhì),。活性炭采用優(yōu)質(zhì)環(huán)保椰殼為上等原料,，經(jīng)系列生產(chǎn)工藝加工而成的一種椰殼活性炭,。具有耐磨強(qiáng)度好,、空隙發(fā)達(dá)、吸附性能高,、強(qiáng)度高,、易再生、經(jīng)濟(jì)耐用等優(yōu)點(diǎn),。
 
     活性炭廣泛用于有害氣體的凈化,，廢氣處理，漆霧吸附等,。對(duì)于化工,、石化、煉焦,、環(huán)保等行業(yè)的氣體處理及對(duì)SO2,、氯苯、辛烷,、乙胺,、二甲基苯、環(huán)已烷,、甲醚,、嗅化氫、二氧化硫,、二硫化硒碳,、氯乙烯、甲醇,、丙酮,、氧化氮等工業(yè)有害氣體的凈化處理。

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